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Mass Flow Controller(MFC) Wird verwendet, um den Massenstrom von Gas genau zu messen und zu steuern.
Sie spielen eine wichtige Rolle in der wissenschaft lichen Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie
Halbleiter-und integrierte Schaltung industrien, spezielle Werkstoff disziplinen, chemische Industrie,
Und industrielle, pharmazeut ische, Umweltschutz-und Vakuum lampen. Typische Anwendungen
Umfassen: elektronische Prozess ausrüstung wie Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasma ätzen,
Sputtern und Ionen implantation; und Beschichtung anlagen, Schmelzen von optischen Fasern, Mikro reaktion
Geräte, Misch gas verteilungs systeme, Kapillar messung, Gas chromato graphen und andere
Analytische Instrumente
Name | Massen durchfluss regler |
Genauigkeit | 0.5% |
Maximaler Druck | 3MPa |
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